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智能型HMDS烘箱,全自動HMDS預處理系統(tǒng)
智能型HMDS烘箱,全自動HMDS預處理系統(tǒng)

智能型HMDS烘箱,全自動HMDS預處理系統(tǒng)預處理性能更好,更加均勻;效率高,一次可以處理多達4盒的晶片;更加節(jié)省藥液;低液報警、防藥液泄漏等具有很強的安全保護功能;,有可自動吸取添加HMDS功能,智能型的程式設(shè)定,一鍵完成作業(yè)。

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藍寶石增粘烘箱, HMDS烘箱
藍寶石增粘烘箱, HMDS烘箱

藍寶石增粘烘箱, HMDS烘箱將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

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HMDS烘箱原理,2-12寸晶圓預處理烘箱
HMDS烘箱原理,2-12寸晶圓預處理烘箱

HMDS烘箱原理,2-12寸晶圓預處理烘箱通過對烘箱 HMDS 預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間 等參數(shù)的編輯,可以在硅片、基片表面均勻涂布一層 HMDS,降低了 HMDS 處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量, 提高光刻膠與硅片的黏附性。

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HMDS烤箱機臺,HMDS預處理烘箱
HMDS烤箱機臺,HMDS預處理烘箱

HMDS烤箱機臺,HMDS預處理烘箱箱體外殼采用高級不銹鋼制作,內(nèi)膽為316L醫(yī)用不銹鋼材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。

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HMDS預處理烘箱價格
HMDS預處理烘箱價格

HMDS預處理烘箱價格:處理更加均勻,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。

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全自動HMDS預處理系統(tǒng)
全自動HMDS預處理系統(tǒng)

全自動HMDS預處理系統(tǒng):帶有可自動吸取添加HMDS功能,智能型的程式設(shè)定,一鍵完成作業(yè)。HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。

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晶圓HMDS烤箱預處理系統(tǒng)
晶圓HMDS烤箱預處理系統(tǒng)

晶圓HMDS烤箱預處理系統(tǒng)通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

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