少妇人妻精品一区二区三区,法国一级情欲片,色综合欧美,激情国产

技術(shù)文章您的位置:網(wǎng)站首頁 >技術(shù)文章 > HMDS預(yù)處理烘箱在光刻工藝中的重要作用

HMDS預(yù)處理烘箱在光刻工藝中的重要作用

更新時(shí)間:2023-12-13   點(diǎn)擊次數(shù):1382次

HMDS預(yù)處理烘箱在光刻工藝中的重要作用為:增強(qiáng)光刻膠和襯底表面的粘附力。

光刻工藝中涂膠顯影流程包括HMDS(六甲基二硅氮烷,增粘劑)預(yù)處理、涂膠、前烘、曝光、后烘、顯影和堅(jiān)膜。

HMDS預(yù)處理作用:

增強(qiáng)光刻膠和襯底表面的粘附力;

實(shí)現(xiàn)方法:浸泡、涂覆、氣相處理(即HMDS烘箱)等。

HMDS預(yù)處理烘箱

   JS-hmds90烘箱采用氣相沉積的方法涂布HMDS化合物。HMDS烘箱在高溫條件下,達(dá)到真空狀態(tài)后開始涂布工藝,涂布完成后排出尾氣,烘箱內(nèi)部充入N2,達(dá)到常壓后方可開門。

溫度范圍:RT+10-250℃

真空度:≤1torr

控制儀表:人機(jī)界面,一鍵運(yùn)行

儲(chǔ)液瓶:HMDS儲(chǔ)液量1000ml 

真空泵:無油渦旋真空泵

數(shù)據(jù)處理:多個(gè)工藝方案,可修改并記錄,使用數(shù)據(jù)可記錄

保護(hù)裝置: 低液位報(bào)警,HMDS藥液泄漏報(bào)&警,超溫保護(hù)并斷開加熱,超溫保護(hù),漏電保護(hù),過熱保護(hù)等




涂膠

作用:a.轉(zhuǎn)移掩模版圖形到襯底的介質(zhì)b刻蝕工藝中保護(hù)襯底;實(shí)現(xiàn)方法:浸泡、旋轉(zhuǎn)、噴霧、刷膠等:

前烘

b.蒸發(fā)溶劑;作用:a.增強(qiáng)粘附性實(shí)現(xiàn)方法:真空熱板85~120C處理。

曝光

作用:將掩模版圖形轉(zhuǎn)移到襯底表面;實(shí)現(xiàn)方法:接觸式、接近式、投影式。

后烘

作用:a.減少駐波效應(yīng)

        b.使光刻膠更易溶于顯影液:實(shí)現(xiàn)方法:熱板或烘箱等110-130C處理。

顯影作用:去除(未)曝光膠膜,保留圖形實(shí)現(xiàn)方法:浸泡、旋轉(zhuǎn)浸泡、旋轉(zhuǎn)噴霧

堅(jiān)膜

作用:a.進(jìn)一步減少駐波效應(yīng) 

        b.進(jìn)一步增強(qiáng)抗刻蝕能力;實(shí)現(xiàn)方法:熱板或堅(jiān)膜烘箱等100-130C處理


分享到:

返回列表返回頂部
COPYRIGHT @ 2016 網(wǎng)站地圖    滬ICP備16022591號(hào)-1   

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主營產(chǎn)品:無氧化烘箱,精密熱風(fēng)烘箱,晶元烘箱,百級(jí)氮?dú)饪鞠?/strong>,無氧烤箱
地址:上海奉賢臨海工業(yè)園區(qū)818號(hào)

環(huán)保在線

推薦收藏該企業(yè)網(wǎng)站
亚洲中文字幕aⅴ天堂| 日日狠狠久久偷偷色| 精品久久久久久亚洲精品| 九色porny| 国产露脸精品产三级国产av| 成人午夜福利视频| 国产精品久久久久电影网| 国产精品久久一区二区无卡| 国产爆乳成aV人在线播放| 中文精品久久久久人妻| 亚洲AV无码成人网站在线观看 | 久久婷婷国产综合精品| 人妻av中文字幕一区二区三区為您提供| 人人做人人爽人人爱| 99久久伊人精品综合观看| 亚洲乱码中文字幕小综合| 国模无码视频一区| 男宠被强制灌水锁精憋尿| 亚洲国产精品无码久久一线| 日本XXXX色视频在线观看免费 | 蜜桃成| 久久久久蜜桃| 第一章少妇初尝云雨69章风| 欧美精品一区| 日韩精品一区二区三区| 91精品国产乱码久久| 久久人妻少妇嫩草av| 午夜精品久久久久久久99热蜜桃 | 熟女系列| 女同av在线| 第一页| a天堂在线视频| 激情毛片无码专区| 99久久免费精品国产72精品九九| 亚洲精品国自产拍在线观看| 亚洲精品无码| 你懂的国产在线精品| 男女性潮高清免费网站| 中国精品无码免费专区午夜| 草莓香蕉视频| 在线观看日本高清=区|