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智能型HMDS涂膠機(jī),自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機(jī)
智能型HMDS涂膠機(jī),自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機(jī)

智能型HMDS涂膠機(jī),自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機(jī)也稱為HMDS處理,是用于使晶片表面呈疏水性的處理。

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HMDS涂膠機(jī),智能型HMDS涂 膠機(jī)
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HMDS涂膠機(jī),智能型HMDS涂 膠機(jī)將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

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光刻工藝HMDS鍍膜機(jī),MOS器件HMDS鍍膜 機(jī)
光刻工藝HMDS鍍膜機(jī),MOS器件HMDS鍍膜 機(jī)

光刻工藝HMDS鍍膜機(jī),MOS器件HMDS鍍膜 機(jī)涂布工藝是改善晶圓表面接觸角的關(guān)鍵步驟。

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抗粘劑蒸鍍機(jī),抗粘層鍍膜機(jī)
抗粘劑蒸鍍機(jī),抗粘層鍍膜機(jī)

抗粘劑蒸鍍機(jī),抗粘層鍍膜機(jī)在基片與彈性支撐層之間還形成有抗黏層,抗黏層一般由全氟辛基三氯硅烷或全氟癸基三氯硅烷形成。

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HMDS涂布機(jī),HMDS涂膠烤箱 工業(yè)烘箱
HMDS涂布機(jī),HMDS涂膠烤箱 工業(yè)烘箱

HMDS涂布機(jī),HMDS涂膠烤箱用于光刻工藝中基板疏水化處理, HMDS 涂布的原理,較常用的黏附劑是六甲基二硅胺烷(HMDS)。在提升光刻膠的黏附性工藝中,實(shí)際上六甲基二硅烷并不是作為粘結(jié)劑所產(chǎn)生作用的,而是HMDS 改變了 SiO2 的界面結(jié)構(gòu),從而使晶圓的性質(zhì)由親水性表面轉(zhuǎn)變?yōu)槭杷员砻妗?/p> 查看詳情

HMDS鍍膜機(jī)設(shè)備
HMDS鍍膜機(jī)設(shè)備

HMDS鍍膜機(jī)設(shè)備。整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)醫(yī)用級(jí)316L不銹鋼材料制作,無發(fā)塵材料,適用百級(jí)光刻間凈化環(huán)境。

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HMDS涂膠系統(tǒng),HMDS涂膠烤箱
HMDS涂膠系統(tǒng),HMDS涂膠烤箱

HMDS涂膠系統(tǒng),HMDS涂膠烤箱通過對(duì)烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、液晶面板、顯示器、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。

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