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高溫?zé)o氧烤箱在低介電常數(shù)BCB樹(shù)脂的固化工藝中的操作方法

更新時(shí)間:2023-04-28   點(diǎn)擊次數(shù):818次
  低介電常數(shù)BCB樹(shù)脂的固化方法,具體步驟如下:
  1:在半導(dǎo)體芯片表面涂覆一層粘附劑;
  2:通過(guò)旋轉(zhuǎn)方式在半導(dǎo)體芯片表面的粘附劑上涂覆一層液態(tài)BCB樹(shù)脂,接著將涂覆好BCB樹(shù)脂的半導(dǎo)體芯片放入高溫?zé)o氧烤箱中,并通入氮?dú)獗Wo(hù);
  3:加熱高溫?zé)o氧烤箱,使涂覆BCB樹(shù)脂的半導(dǎo)體芯片達(dá)到一第一溫度,穩(wěn)定一段時(shí)間,使BCB樹(shù)脂中的溶劑分布均勻;
  4:再將加熱無(wú)氧烤箱升高到一第二溫度,穩(wěn)定一段時(shí)間,使BCB樹(shù)脂中的溶劑充分揮發(fā);
  5:再將加熱高溫?zé)o氧烤箱升高至一第三溫度,穩(wěn)定一段時(shí)間,在半導(dǎo)體芯片表面形成低介電常數(shù)的樹(shù)脂薄膜;
  6:高溫?zé)o氧烤箱降溫至100度以下;
  7:關(guān)氮?dú)?,取出產(chǎn),完成固化工藝。


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