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HMDS氣相成底膜烘箱  真空HMDS氣相烘箱
HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱

HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱在晶圓上行噴涂hmds預(yù)處理的工藝,將晶圓表面親水性的置換為疏水性的,使晶圓表面接觸角達(dá)到65或更高。

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HMDS預(yù)處理機(jī)H-2  智能HMDS真空烘箱
HMDS預(yù)處理機(jī)H-2 智能HMDS真空烘箱

HMDS預(yù)處理機(jī)H-2 智能HMDS真空烘箱為半導(dǎo)體應(yīng)用的光刻膠粘合促進(jìn)劑工藝設(shè)備,

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HDMS烘箱  HDMS真空烘箱  HDMS預(yù)處理烘箱
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HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預(yù)處理烘箱保護(hù)裝置:緊急停止,HMDS藥液泄漏報(bào)&警提示,HMDS低液位報(bào)&警,超溫保護(hù),漏電保護(hù),過(guò)熱保護(hù)等

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光刻膠HMDS烘箱  HMDS疏水處理烘箱
光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱

光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱應(yīng)用多晶硅,石英,太陽(yáng)能電池片、金屬、貴金屬、藍(lán)寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。

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HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統(tǒng)無(wú)油泵
HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統(tǒng)無(wú)油泵

HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統(tǒng)無(wú)油泵較小的噪音 - 一臺(tái)干泵卻擁有較好的真空度,較大的抽速 - 停機(jī)時(shí)間短,維護(hù)成本更低

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光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預(yù)處理烘箱
光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預(yù)處理烘箱

光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預(yù)處理烘箱就是涂膠前要進(jìn)行增粘處理。由于襯底表面吸水特性,使疏水的光刻膠無(wú)法與親水的晶圓表面結(jié)合良好。未經(jīng)過(guò)HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。

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HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無(wú)油泵 工業(yè)烘箱
HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無(wú)油泵 工業(yè)烘箱

HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無(wú)油泵真空干泵具有(50dBA)和低振動(dòng)運(yùn)行的, 密封設(shè)計(jì)(真空區(qū)與電機(jī)和軸承全隔開(kāi)) 可提供潔凈的泵內(nèi)氣體環(huán)路;從而消除了油或油脂帶來(lái)的污染風(fēng)險(xiǎn)。

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