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HMDS預(yù)處理機(jī)H-2  智能HMDS真空烘箱

HMDS預(yù)處理機(jī)H-2 智能HMDS真空烘箱

簡要描述:

HMDS預(yù)處理機(jī)H-2 智能HMDS真空烘箱為半導(dǎo)體應(yīng)用的光刻膠粘合促進(jìn)劑工藝設(shè)備,

HMDS預(yù)處理機(jī)H-2  智能HMDS真空烘箱

HMDS(六甲基二硅氮烷)為半導(dǎo)體應(yīng)用的光刻膠粘合促進(jìn)劑。

     HMDS烘箱將六甲基二硅胺烷HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、磷化銦lnP、砷化鎵GaAs、鈮酸鋰LiNbO?、硫化鋅ZnS、掩膜版玻璃、石英片、藍(lán)寶石、晶圓、碳化硅等第三代、第四代半導(dǎo)體材料表面后經(jīng)系統(tǒng)加溫,它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

HMDS預(yù)處理機(jī)H-2  智能HMDS真空烘箱技術(shù)性能

處理產(chǎn)品:2-12寸晶圓及方片均可兼容(可定制)

材質(zhì):內(nèi)箱采用 316L 醫(yī)用級(jí)不銹鋼

溫度范圍:80-200℃

真空度:≤1torr

工藝數(shù)量:5個(gè)工藝設(shè)定并保存

操作界面:智能型彩色人機(jī)界面,一鍵完成工藝

真空泵:無油渦旋真空泵(或旋片油泵)


HMDS預(yù)處理機(jī)烘箱其他功能


HMDS低液位報(bào)警提示功能

工藝數(shù)據(jù)記錄功能

脫水烘烤

溫度保護(hù)程序鎖定保護(hù)

圖形反轉(zhuǎn)功能

HMDS藥液泄漏報(bào)警提示功能



上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要經(jīng)營優(yōu)質(zhì)的HMDS預(yù)處理機(jī)H-2 智能HMDS真空烘箱等,歡迎來電咨詢HMDS預(yù)處理機(jī)H-2 智能HMDS真空烘箱詳細(xì)資料等信息
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