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HMDS蒸鍍系統(tǒng),無塵HMDS烤箱 電熱恒溫干燥箱

HMDS蒸鍍系統(tǒng),無塵HMDS烤箱 電熱恒溫干燥箱

簡要描述:

HMDS蒸鍍系統(tǒng),無塵HMDS烤箱?通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。

HMDS蒸鍍系統(tǒng),無塵HMDS烤箱概述

HMDS蒸鍍系統(tǒng),無塵HMDS烤箱通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。

特點

Ø  更加節(jié)省藥液實踐證明,用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理4盒晶片所用藥液還多。

Ø  更加環(huán)保和安全HMDS是有毒化學(xué)藥品,人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環(huán)境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī),所以也不會對環(huán)境造成污染。 

Ø  自動吸取HMDS功能智能型的程式設(shè)定,一鍵完成作業(yè)。HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。

技術(shù)參數(shù)

Ø  材質(zhì): 外箱采用304不銹鋼或優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

Ø  電源及總功率:AC 220V±10% / 50HZ       總功率約2.5KW   

Ø  控制儀表:人機(jī)界面

Ø  擱板層數(shù):2層

Ø  HMDS控制:可控制HMDS藥液的添加量

Ø  真空泵:旋片式油泵或進(jìn)口無油泵

Ø  保護(hù)裝置: 超溫保護(hù),漏電保護(hù),過熱保護(hù)等

Ø  加熱系統(tǒng):由于工藝的整個過程都需要在200℃左右的環(huán)境下進(jìn)行,所以自始至終加熱系統(tǒng)都在工作。本系統(tǒng)采用在腔內(nèi)分布兩塊獨立的熱板來實現(xiàn)加熱,每個熱板都采用人工智能PID調(diào)節(jié)儀實現(xiàn)閉環(huán)控制,調(diào)節(jié)儀控制固態(tài)繼電器的輸出從而實現(xiàn)溫度的精確穩(wěn)定控制,測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。

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