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高溫?zé)o氧烘箱，充氮高溫 無氧烤箱應(yīng)用于MEMS智能傳感器芯片生產(chǎn)、LCD前工段生產(chǎn)、玻璃基板等工藝中的PI（聚酰亞胺）固化，BCB聚合物、PBO高溫固化，銀膠固化，光刻膠固化，鍍金方案中感濕膜烘烤工藝，車載玻璃鍍膜后退火，硅片（晶圓）高溫退火，PCB板防氧化烘烤，氟橡膠材料厭氧烘烤工藝，電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求

class100高溫潔凈烘箱，程控式無塵烤箱采用液晶觸摸屏溫度控制器，內(nèi)置曲線查詢、PID自整定、高溫上限報(bào)警、運(yùn)行方式：定值、程式，中、英文操作。

充氮恒溫?zé)岚?，氮?dú)飧邷丶訜崤_(tái)應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、銀膠固化、掩膜版烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).

半導(dǎo)體光刻膠烤膠機(jī)，基片烘膠臺(tái)定制支撐pin材料 邊緣支撐pin N2吹掃，無氧化烘烤 烘焙距離可調(diào)模組 真空腔體 智能型控制系統(tǒng)

雙門氮?dú)夂嫦涠ㄖ?，可充氮熱風(fēng)循環(huán)烘箱箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆；內(nèi)室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼；

真空無氧化烤箱（BCB厭氧固化烤烘箱）是將涂敷BCB或PI的襯底放入真空無氧烘箱中，通入N2→真空置換后，采用多級(jí)升溫保溫的方式，在規(guī)定的時(shí)間從室溫升至第一溫度階段，并在該溫度段保溫1-2h，再在規(guī)定的時(shí)間從第一溫度升至第二溫度階段，并在該溫度段保溫一定的時(shí)間；隨后增通過輔助的降溫系統(tǒng)（水冷和風(fēng)冷），將退火爐的溫度降至80度左右，完成固化。

智能型無塵無氧烘箱(PI固化厭氧烤箱)箱體內(nèi)裝有氧含量分析儀，全程檢測(cè)氧含量值，并記錄。