無塵烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、LED、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
銀膠固化烘箱,銀膠燒結烤箱燒結的目的是使銀膠固化,燒結要求對溫度進行監(jiān)控,防止批次性不良。銀膠燒結的溫度一般控制在150℃,燒結時間2小時。根據(jù)實際情況可以調整到170℃,1小時。銀膠燒結烘箱的必須按工藝要求隔2小時(或1小時)打開更換燒結的產品,中間不得隨意打開。燒結烘箱不得再其他用途,防止污染。
精密循環(huán)風烤箱,精密高溫烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門。 也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其它高溫試驗。
充氮LED烤箱,LED潔凈烘箱廣泛用于點陣,數(shù)碼管,LED發(fā)光二極管,SMD,大功率,貼片等固化;*的性質配置單門或多門,使用上更節(jié)能,更人性化。
HMDS烘箱、HMDS預處理系統(tǒng)降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。