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潔凈無氧烘箱，氮?dú)鉄o氧 烘箱用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI/CPI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纖維熱處理。

后曝光氮?dú)夂嫦?，PEB無塵烘箱所使用的高溫（100-130°C）會使光敏化合物擴(kuò)散，從而消除駐波波紋.百級潔凈度無塵化，專用于半導(dǎo)體，集成電路。