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快速熱處理退火爐,半導(dǎo)體RTP快速退火 爐
快速熱處理退火爐,半導(dǎo)體RTP快速退火 爐

快速熱處理退火爐,半導(dǎo)體RTP快速退火 爐可用于硅及其他化合物材料離子注入后的退火,硅化物形成,歐姆接觸制備以及快速氧化,快速氮化等方面。該設(shè)備具有很好的長(zhǎng)時(shí)間工作穩(wěn)定性以及快速升降溫,慢速升降溫功能

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不銹鋼無塵烤箱,雙層無塵烘箱
不銹鋼無塵烤箱,雙層無塵烘箱

不銹鋼無塵烤箱,雙層無塵烘箱應(yīng)用于目前關(guān)鍵的半導(dǎo)體電子行業(yè)(如硅片干燥,堅(jiān)膜烘烤,裝片機(jī)后道烘烤,塑封后烘烤,治具烘烤等),另外,雙層無塵烘箱還在LED制造行業(yè)中用于烘烤玻璃基板、無機(jī)材料行業(yè)中用于材料高精度工序。

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無氧烘箱,無氧化烘箱
無氧烘箱,無氧化烘箱

無氧烘箱,無氧化烘箱在半導(dǎo)體集成電路制造過程中,晶圓表面預(yù)處理、涂膠、曝光前后的烘焙即曝光后烘烤(Post Exposure Bake,PEB)、對(duì)準(zhǔn)、顯影、顯影后烘焙等因素都會(huì)對(duì)光刻工藝效果帶來顯著影響

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百級(jí)無塵烘箱,不銹鋼無塵烤箱 工業(yè)烘箱
百級(jí)無塵烘箱,不銹鋼無塵烤箱 工業(yè)烘箱

百級(jí)無塵烘箱,不銹鋼無塵烤箱用于IC生產(chǎn)中前烘、后烘烤、堅(jiān)膜、裝片機(jī)后端烘烤、塑封封裝烘烤、光刻膠固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工藝。

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有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱 工業(yè)烘箱
有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱 工業(yè)烘箱

有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱用于鍵合預(yù)處理,晶圓,芯片,電容,電池,封裝,光刻膠固化,PI固化等

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充氮真空烘箱,快速降溫真空烤箱 工業(yè)烘箱
充氮真空烘箱,快速降溫真空烤箱 工業(yè)烘箱

充氮真空烘箱,快速降溫真空烤箱用于鍵合材料的真空預(yù)處理 、BCB固化、ITO膜退火,PI膠固化等工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)。

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PI固化厭氧烘箱,聚酰亞胺固化爐 工業(yè)烘箱
PI固化厭氧烘箱,聚酰亞胺固化爐 工業(yè)烘箱

PI固化厭氧烘箱,聚酰亞胺固化爐多次實(shí)驗(yàn)后采用階梯升溫過程,亞胺化效果*。采用程控烘箱進(jìn)行亞胺化,烘箱內(nèi)為純N2氛圍.

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