晶圓退火烤箱,500度退火氮氣烘箱晶圓退火需進行升溫處理,升溫處理具有多個升溫階段,每個升溫階段相應的升溫速率不同,其中,所述多個區(qū)域在每個所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個區(qū)域進行保溫處理;對多個區(qū)域采用氮氣保護,該氮氣烘箱采用輔助降溫方式進行降溫處理。
無氧烘箱,智能無氧雙層烘箱可選用條形碼上傳IT后,接收由IT比對下載制程數(shù)據(jù)或直接接收IT所下載制程數(shù)據(jù)方式,系統(tǒng)并自動將制程寫入溫控器,達到遠程制程下載,避免人員制程選擇操作錯誤問題;
真空無氧烘箱,高溫無氧真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合材料預處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導體封裝、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
全氟辛基三氯硅烷涂膠機,抗粘劑PFTS烘箱主要用于納米壓印光刻(NIL)應用,防粘涂層的制備,可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠;以及功率半導體,LED,MEMS,半導體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
冷熱沖擊測試機,冷熱循環(huán)氣流儀在短的時間內(nèi)(約10秒)檢測樣品因高低溫冷熱沖擊()-65℃~220℃)所引起的化學變化和物理傷害,減少測試與驗證時間,快速提高產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)效率。廣泛應用于通信、半導體、芯片、傳感器等領域。