HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)）用途：
HMDS Coater是通過對(duì)箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)）技術(shù)指標(biāo)：
1、設(shè)備名稱 | HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)） |
2、設(shè)備型號(hào) | JS-HMDS90-AI/MES |
3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù) | |
3.1 尺寸（深*寬*高） | 內(nèi)腔尺寸：350×350×350/450×450×450（mm）可定制 |
3.2 材質(zhì) | 外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼 |
3.3 溫度使用范圍 | 80-200℃ |
3.4 溫度分辨率 | 0.1℃ |
3.5 溫度波動(dòng)度 | ≤±0.5 |
3.6 真空度 | ≤133pa（1torr） |
3.7 潔凈度 | 設(shè)備采用無塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境 |
3.8電源及總功率 | AC 220V±10% / 50HZ 總功率約3.5KW |
3.9 控制儀表 | 人機(jī)界面 |
3.10擱板層數(shù) | 2層 |
3.11 HMDS控制 | 可控制HMDS藥液添加量 |
3.12真空泵 | 無油渦旋真空泵 |
3.13 保護(hù)裝置 | HMDS藥液泄漏報(bào)警裝置，HMDS低液位報(bào)警提示，超溫保護(hù)，漏電保護(hù)等。 |
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