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HMDS Coater(HMDS 涂布機)使用范圍

更新時間:2022-02-12   點擊次數(shù):3692次

HMDS Coater(HMDS 涂布機)用途:

   HMDS Coater是通過對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS Coater(HMDS 涂布機)技術(shù)指標:


1、設(shè)備名稱

HMDS Coater(HMDS 涂布機)

2、設(shè)備型號

 JS-HMDS90-AI/MES

3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)                                                          

3.1 尺寸*寬*高

內(nèi)腔尺寸:350×350×350/450×450×450(mm)可定制


3.2 材質(zhì)

外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

3.3 溫度使用范圍

80-200℃

3.4 溫度分辨率

0.1℃

3.5 溫度波動度

±0.5

3.6 真空度

133pa(1torr)

3.7 潔凈度

設(shè)備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境

3.8電源及總功率

AC 220V±10% / 50HZ       總功率約3.5KW    

3.9 控制儀表

人機界面

3.10擱板層數(shù)

2層

3.11 HMDS控制

可控制HMDS藥液添加量

3.12真空泵

無油渦旋真空泵

3.13 保護裝置

HMDS藥液泄漏報警裝置,HMDS低液位報警提示,超溫保護,漏電保護等。


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