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氮?dú)鉂崈艉嫦? 光刻膠無(wú)塵烘箱   百級(jí)烘箱

氮?dú)鉂崈艉嫦? 光刻膠無(wú)塵烘箱 百級(jí)烘箱

簡(jiǎn)要描述:

氮?dú)鉂崈艉嫦? 光刻膠無(wú)塵烘箱 百級(jí)烘箱 適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研.

氮?dú)鉂崈艉嫦?nbsp; 光刻膠無(wú)塵烘箱   百級(jí)烘箱工藝

    不同的勻膠轉(zhuǎn)速,對(duì)應(yīng)不同的光刻膠厚度,厚度越大,由于曝光的穿透深度以及光的衍射,光刻的分辨率就會(huì)越低,并且會(huì)在光刻膠側(cè)壁形成明顯的梯形。厚度太薄的話,在刻蝕的時(shí)候會(huì)被刻穿,要根據(jù)需要刻蝕的深度選擇合適的光刻膠厚度,從而選擇合適的轉(zhuǎn)速

在勻膠結(jié)束后,使用溫度95°烘5min來(lái)提高光刻膠的致密性以及與晶圓的粘附性。

氮?dú)鉂崈艉嫦?nbsp; 光刻膠無(wú)塵烘箱   百級(jí)烘箱指標(biāo)

潔凈度:Class100、1000     

溫度:RT+15~200/300/400℃;
氣體:N2 

計(jì)時(shí)功能:可選 

設(shè)備材質(zhì):內(nèi)部SUS304不銹鋼           

工作尺寸(mm):

450×450×500

500×500×550

600×700×800

(可定制)          

網(wǎng)板:活動(dòng)式2-5塊

運(yùn)行模式:定值或程式

操作界面:按鍵或彩色觸摸屏

氮?dú)鉂崈艉嫦?nbsp; 光刻膠無(wú)塵烘箱用途

適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研.

驅(qū)趕膠中的溶劑

提高膠對(duì)襯底的黏附性

提高膠的抗腐蝕能力

優(yōu)化膠的光學(xué)吸收特性

提高涂膠的均勻性

提高條寬控制能力

通過(guò)前烘,基片上的光刻膠基本固化。





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