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堅(jiān)膜烘箱,氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱 工業(yè)烘箱

堅(jiān)膜烘箱,氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱 工業(yè)烘箱

簡(jiǎn)要描述:

堅(jiān)膜烘箱,氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱的作用是在一定的溫度下,對(duì)顯影后的襯底進(jìn)行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷(如針孑L)因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。

堅(jiān)膜烘箱,氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱

   堅(jiān)膜烘箱的作用是在一定的溫度下,對(duì)顯影后的襯底進(jìn)行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。

堅(jiān)膜烘箱,氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱技術(shù)性能:     

溫度范圍:RT~250℃;
均勻度:±2%℃;    

溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)        
溫控精度:±0.1℃;   

潔凈度:Class100; 

計(jì)時(shí)范圍:99H99M;   

氣體氛圍:N2;

內(nèi)部尺寸(mm):

450×450×450

500×500×550

600×700×800(可定制)        
電源:380v , 50Hz   

網(wǎng)板:2-4只(高度可調(diào)節(jié))

可擴(kuò)展功能:

雙腔體或多腔體

智能聯(lián)網(wǎng)功能,MES等工業(yè)自動(dòng)化軟件

掃碼槍?zhuān)瑨叽a溯源,一鍵讀取

自動(dòng)門(mén)控,上位機(jī)程控,機(jī)械手搬運(yùn)產(chǎn)品



  堅(jiān)膜烘箱也可用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要經(jīng)營(yíng)優(yōu)質(zhì)的堅(jiān)膜烘箱,氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱 工業(yè)烘箱等,歡迎來(lái)電咨詢(xún)堅(jiān)膜烘箱,氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱 工業(yè)烘箱詳細(xì)資料等信息
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