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塑封固化專(zhuān)用潔凈烘箱

塑封固化專(zhuān)用潔凈烘箱

簡(jiǎn)要描述:

塑封固化專(zhuān)用潔凈烘箱采用自動(dòng)加熱的方式對(duì)其進(jìn)行保溫固化,固化溫度維持在 175℃,固化時(shí)間為 8 小時(shí)。塑封固化的主要作用是消除塑封料內(nèi)部的應(yīng)力。

塑封固化專(zhuān)用潔凈烘箱使用要求

   塑封固化:注塑完成后,工件轉(zhuǎn)移至固化加熱爐,采用自動(dòng)加熱的方式對(duì)其進(jìn)行保溫固化,固化溫度維持在 175℃,固化時(shí)間為 8 小時(shí)。塑封固化的主要作用是消除塑封料內(nèi)部的應(yīng)力。此過(guò)程主要污染物:固化有機(jī)廢氣。

塑封固化專(zhuān)用潔凈烘箱性能

   潔凈烘箱,百級(jí)潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

 潔凈等級(jí):Class 100;     

溫度范圍:RT+10250/450℃;
 溫度均勻度:±1.5%℃;    

溫度波動(dòng)度:±1℃(空載);        
 溫控精度:0.1℃;

內(nèi)腔尺寸:600*600*500(mm),可定制尺寸、多箱體一體式;

潔凈烘箱耐高溫高效空氣過(guò)濾器(HEPA)

a、內(nèi)部 100 級(jí)潔凈過(guò)濾器,采用耐高溫高效過(guò)濾器使用有隔板設(shè)計(jì),波紋形隔板可以精確地保持褶層間距

b、在最小阻力下,最大限度地利用濾料,過(guò)濾器濾材兩面 180 褶翻褶形褶層,濾料折彎時(shí)有兩道壓痕

c、使其在隔板的尾端開(kāi)成鍥形盒式褶層,鍥形盒式褶層可以防止濾料破損

d、特點(diǎn):

效率高、阻力低、容塵量大;

外框材質(zhì):不銹鋼;

濾料:超細(xì)玻璃纖維濾紙;

隔板:鋁箔;

過(guò)濾效率:≥99.99%;

顯示直觀,操作簡(jiǎn)單


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