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小型蒸發(fā)鍍膜儀,實(shí)驗(yàn)室氣相沉積設(shè)備

小型蒸發(fā)鍍膜儀,實(shí)驗(yàn)室氣相沉積設(shè)備

簡要描述:

小型蒸發(fā)鍍膜儀,實(shí)驗(yàn)室氣相沉積設(shè)備 用于真空蒸發(fā)鍍光學(xué)薄膜、有機(jī)物薄膜和金屬薄膜、在襯底上沉積各單層金屬 膜,主要用于蒸鍍電極及有機(jī)半導(dǎo)體材料的物理化學(xué)性能研究實(shí)驗(yàn)研究 。特別適合于高科技企業(yè)、科研單位和高校用于膜層研究和膜系開發(fā)。

小型蒸發(fā)鍍膜儀,實(shí)驗(yàn)室氣相沉積設(shè)備用途

   用于真空蒸發(fā)鍍光學(xué)薄膜、有機(jī)物薄膜和金屬薄膜、在襯底上沉積各單層金屬 膜,主要用于蒸鍍電極及有機(jī)半導(dǎo)體材料的物理化學(xué)性能研究實(shí)驗(yàn)研究 。特別適合于高科技企業(yè)、科研單位和高校用于膜層研究和膜系開發(fā)。


小型蒸發(fā)鍍膜儀,實(shí)驗(yàn)室氣相沉積設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)         

                                                 

真空腔室尺寸:Φ300*H400mm,預(yù)留膜厚儀接口304不銹鋼材料,圓柱式,門上配有觀察窗;  

真空系統(tǒng) 分子泵 +直聯(lián)旋片泵+高真閥門; “一低一高"數(shù)顯復(fù)合真空計(jì);

極限真空 真空極限優(yōu)于 5×10-5Pa ;

溫度范圍 RT-600/1600℃,可調(diào)可控;

基片臺尺寸最大可鍍基片尺寸/面積:Φ100mm 范圍內(nèi)可裝卡各種規(guī)格配 套相應(yīng)樣品架可固定各類不銹鋼掩膜板。

基片臺旋轉(zhuǎn):0-20 轉(zhuǎn)/分鐘,可調(diào)可控;

蒸發(fā)源及電源水冷蒸發(fā)電極,金屬蒸發(fā)電源;

控制方式PLC+觸摸屏,自動控制;

報(bào)警及保護(hù)對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施;完善的邏輯程序互鎖保護(hù)系統(tǒng);

設(shè)備配電 AC220V/50HZ ,功率:3.5KW;

設(shè)備尺寸×寬×高:500*360*420mm;


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