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工業(yè)烘箱,工業(yè)無(wú)塵烘箱

工業(yè)烘箱,工業(yè)無(wú)塵烘箱

簡(jiǎn)要描述:

工業(yè)烘箱,工業(yè)無(wú)塵烘箱用于半導(dǎo)體制造中預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、IC封裝、治具烘烤、光刻膠固化等;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

工業(yè)無(wú)塵烘箱用途:

用于半導(dǎo)體制造中預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、IC封裝、治具烘烤、光刻膠固化等;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

工業(yè)烘箱,工業(yè)無(wú)塵烘箱特點(diǎn):
1.烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100、Class 1000;
2.全周氬焊,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
3.采水平或垂直送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過(guò)濾效率99.99%,Class 100
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式,雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到z佳溫度控制精度。

工業(yè)烘箱,工業(yè)無(wú)塵烘箱技術(shù)參數(shù):

1.主要技術(shù)指標(biāo):
內(nèi)箱材質(zhì):優(yōu)質(zhì)304不銹鋼;

外箱材質(zhì):冷軋板噴塑或不銹鋼;

無(wú)塵等級(jí):Class 100、1000    

溫度范圍:RT+10250℃、300
溫度均勻度:±2℃;    

溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載);        
溫控精度:±0.1℃;

進(jìn)風(fēng)口:φ6mmN2進(jìn)氣、流量計(jì)控制;  


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氮?dú)夂嫦?/span>技術(shù)參數(shù):      

1. 內(nèi)部尺寸:800*800*1000(mm)

2. 內(nèi)箱分層:三層

3.  溫度范圍:RT+10℃~250℃。

4. 溫度波動(dòng):<±1℃。

5. 溫度均勻:±1%(空載測(cè)試)。

6.溫控裝置:高精度P.I.D智能溫控儀表、P.I.D自動(dòng)演算、時(shí)間定時(shí)。

7.內(nèi)室材料:采用無(wú)磁性鏡面不銹鋼;外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE) 。

8.保溫材料陶瓷纖維

9.特質(zhì)復(fù)合式SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器。

保護(hù)裝置:超溫保護(hù)器,無(wú)熔絲開關(guān)。

11. 進(jìn)氣/排氣:
進(jìn)氣系統(tǒng):數(shù)量1個(gè),φ8mm

充氣壓力:0.01~0.02Mpa
流 量 計(jì):氮?dú)廪D(zhuǎn)子流量計(jì)
減 壓 閥:進(jìn)氣端配有氮?dú)鉁p壓閥,充氣壓力指針顯示

排氣系統(tǒng):數(shù)量1個(gè),φ50mm



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