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硅片充氮烘箱,半導(dǎo)體充氮烤箱 工業(yè)烘箱

硅片充氮烘箱,半導(dǎo)體充氮烤箱 工業(yè)烘箱

簡(jiǎn)要描述:

硅片充氮烘箱,半導(dǎo)體充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱整機(jī)為不銹鋼結(jié)構(gòu),全部采用無(wú)塵材料,箱內(nèi)持續(xù)充氮,使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動(dòng)控制,并有自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制裝置,并附設(shè)有超溫自動(dòng)停電及報(bào)警電路,控制可靠,使用安全。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

硅片充氮烘箱,半導(dǎo)體充氮烤箱概述

硅片充氮烘箱,半導(dǎo)體充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱整機(jī)為不銹鋼結(jié)構(gòu),全部采用無(wú)塵材料,箱內(nèi)持續(xù)充氮,使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動(dòng)控制,并有自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制裝置,并附設(shè)有超溫自動(dòng)停電及報(bào)警電路,控制可靠,使用安全。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

特點(diǎn)

1、全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵;
2、耐高溫,可以達(dá)到和工作場(chǎng)所同樣的潔凈等級(jí);

技術(shù)參數(shù)

1、主要技術(shù)指標(biāo)

Ø  溫度范圍: RT(室溫)+10~200℃;

Ø  溫度偏差:≤±2.0℃;

Ø  升溫速度:≥2℃/min;

Ø  潔凈等級(jí):千級(jí)以上

Ø  計(jì)時(shí)功能:具有獨(dú)立的計(jì)時(shí)器,計(jì)時(shí)開關(guān),計(jì)時(shí)報(bào)警器

2、箱體結(jié)構(gòu)

Ø  箱體材料:外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆;

Ø  內(nèi)室材料:采用SUS304#無(wú)磁性鏡面不銹鋼;

Ø  保溫材料:超細(xì)玻璃棉;

Ø  排 氣 口:ф50;

Ø   隔 板:2層,不銹鋼方通,承重約30KG;

Ø  空氣循環(huán)裝置:大容量軸流電機(jī);

Ø  加熱方式:不銹鋼電加熱器;

3、溫控系統(tǒng)

Ø  溫度測(cè)量傳感器:Pt100 鉑電阻;

Ø  控制儀表:日本富士溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃;

Ø  超溫保護(hù)儀表:獨(dú)立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng),保證試驗(yàn)品的安全;

Ø  控制系統(tǒng):主要電器件均采用施耐德、歐姆龍等進(jìn)口元?dú)饧?/span>

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