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SECS/GEM協(xié)議無(wú)塵烘箱,無(wú)塵烤箱 工業(yè)烘箱

SECS/GEM協(xié)議無(wú)塵烘箱,無(wú)塵烤箱 工業(yè)烘箱

簡(jiǎn)要描述:

SECS/GEM協(xié)議無(wú)塵烘箱,無(wú)塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。設(shè)備可以使用TCP / IP(使用HSMS標(biāo)準(zhǔn),SEMI E37)或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機(jī)進(jìn)行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。

SECS/GEM協(xié)議無(wú)塵烘箱,無(wú)塵烤箱概述

  SECS/GEM協(xié)議無(wú)塵烘箱,無(wú)塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。設(shè)備可以使用TCP / IP(使用HSMS標(biāo)準(zhǔn),SEMI E37)或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機(jī)進(jìn)行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺(tái)設(shè)備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進(jìn)行監(jiān)控和控制。

特點(diǎn)

Ø   SECS / GEM是用于設(shè)備到主機(jī)數(shù)據(jù)通信的半導(dǎo)體設(shè)備接口協(xié)議。在自動(dòng)化工廠(chǎng)中,接口可以啟動(dòng)和停止設(shè)備處理,收集測(cè)量數(shù)據(jù),更改變量并為產(chǎn)品選擇配方。 SECS(SEMI設(shè)備通信標(biāo)準(zhǔn))/ GEM(通用設(shè)備模型)標(biāo)準(zhǔn)以確定的方式完成所有這些工作。

Ø  在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100;

Ø 全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;

Ø 采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過(guò)濾效率99.99%,Class 100;

Ø 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式,雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),高溫度控制精度。

技術(shù)參數(shù)

1.主要技術(shù)指標(biāo)

Ø 無(wú)塵等級(jí):Class 100/10;     

Ø 溫度均勻度:±2℃;    

Ø 溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載);        

Ø 溫控精度:±0.1℃;

Ø 進(jìn)風(fēng)口:φ6mmN2進(jìn)氣、流量計(jì)控制;

Ø 排風(fēng)口: φ3”排風(fēng)管(外接φ5"法蘭);         

 

Ø 網(wǎng)板:2-5層,

Ø 潔凈度:100級(jí)的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對(duì)流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度

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