SECS/GEM通訊無塵烘箱,無塵烤箱概述

SECS/GEM通訊無塵烘箱,無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

特點

Ø  在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100；

Ø  全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

Ø  采用單面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng)，風源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

Ø  強制送風循環(huán)方式，雙風道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到高精度溫度控制精度。

技術(shù)參數(shù)

主要技術(shù)指標

Ø  無塵等級：Class 100;     

Ø  溫度均勻度：±2℃;    

Ø  溫度波動度：±0.5℃（空載）；        

Ø  溫控精度：±0.1℃;

Ø  進風口：φ6mmN2進氣、流量計控制;

Ø  排風口： φ3”排風管（外接φ5＂法蘭）;