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無塵烘箱,晶圓無塵烤箱

無塵烘箱,晶圓無塵烤箱

簡要描述:

無塵烘箱,晶圓無塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;

無塵烘箱,晶圓無塵烤箱用途:

   無塵烘箱,晶圓無塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù):

  無塵等級:Class 100、10;     

 溫度范圍:RT+10~300℃;
 溫度均勻度:±2℃;    

 溫度波動度:±0.5℃(空載)        
 溫控精度:±0.1℃;        

 工作室尺寸:W1600×D1600×H1000(mm)  (可定做)   
 電源:380v , 50Hz,16KW    

 網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))

特點(diǎn):
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵;
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),優(yōu)良的溫度控制精度。

 

智能型HMDS烘箱,全自動HMDS預(yù)處理系統(tǒng)

智能型HMDS烘箱,全自動HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的重要性:
  光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

智能型HMDS烘箱,全自動HMDS預(yù)處理系統(tǒng)主要技術(shù)性能:

電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%

輸入功率:2500W

控溫范圍:RT+10℃-250℃

溫度分辨率:0.1℃

溫度波動度:±0.5℃

達(dá)到真空度:133Pa(1torr)

工作室尺寸(mm):450*450*450、350*350*350(可自定義)

智能型HMDS烘箱,全自動HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的*性:

預(yù)處理性能更好,更加均勻;效率高,一次可以處理多達(dá)4盒的晶片;更加節(jié)省藥液;低液報警、防藥液泄漏等具有很強(qiáng)的安全保護(hù)功能;,有可自動吸取添加HMDS功能,智能型的程式設(shè)定,一鍵完成作業(yè)。

上海雋思儀 器制造熱風(fēng)循環(huán)烘箱,潔凈烘箱,無塵烘箱,厭氧烘箱,高溫?zé)o塵固化烤箱,PI膠固化烤箱,BCB膠固化烤箱,無塵無氧烤箱,HMDS烘箱、HMDS預(yù)處理烘箱,真空涂膠烤箱,百級烘箱等設(shè)備。

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