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軟烘烤箱，硅片烤箱工作室內(nèi)充滿了惰性氣體N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧烤箱主要用于：晶圓、硅片、玻璃等制程烘烤，IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等電子、IC、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門。

晶圓烤箱，超潔凈烤箱工作室內(nèi)充滿了惰性氣體N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧烤箱主要用于：晶圓、硅片、玻璃等制程烘烤，IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等電子、IC、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門。

堅膜烘箱，真空堅膜烤箱用于半導(dǎo)體制造中半導(dǎo)體襯底片、硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料顯影后堅膜烘烤；也適用于涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤以及電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。

LED氣相成底膜處理系統(tǒng)，氣相成底膜真空烘箱在將晶片用濕法清洗臟污后甩干,為了增強(qiáng)晶片與光刻膠之間的黏附性,用六甲基二硅胺烷（HMDS）做成底膜處理。目前在LED芯片制造中用HMDS成膜處理一般是在一個集脫水烘焙和氣相成膜兩種作用的真空腔中進(jìn)行,這種方法可以實現(xiàn)批量處理。

PI膠高溫固化烤箱，半導(dǎo)體PI固化爐用于PI高溫固化烘烤。廣泛應(yīng)用于微電子工業(yè)中的半導(dǎo)體器件表面的保護(hù)、密封、應(yīng)力緩沖保護(hù)和半導(dǎo)體器件表面鈍化、內(nèi)涂料、層間絕緣和介電薄膜材料以及液晶顯示器的液晶分子取向膜材料，對改善器件性能、提高器件可靠性，具有防潮、防金屬離子遷移、防污染，降低漏電流，同時對器件的引線、焊點等薄弱部位具有增固加強(qiáng)的作用。所以，PI的固化工藝非常重要。

LED烤箱，LED光電烤箱廣泛用于點陣，數(shù)碼管，LED發(fā)光二極管，SMD，大功率，貼片等固化；LED光電烤箱*的性質(zhì)配置單門或多門，使用上更節(jié)能，更人性化。

IC氮氣烤箱，光刻間用烤箱工作室內(nèi)充滿了惰性氣體N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧烤箱箱主要用于：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等電子、IC、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門。